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MRP系列MRP系列磁流体抛光机
MRP系列磁流体抛光机,采用多种配方的磁流体抛光液,在磁场的精确控制下对光学镜片进行抛光,具有极高的加工精度,适用于绝大多数应用场合下的最终加工工序。
材料:石英、微晶、ULE、BK7、单晶硅、SiC等;
形状:二次曲面、高次非球面、自由曲面;
加工精度:优于1/200λ RMS。
产品优势
技术特色
近零疵病
抛光颗粒沿光学表面切向划擦,不产生裂纹,得到近零疵病的表面。
纳米材料去除分辨率
可实现纳米量级材料去除分辨率,加工精度高。
高确定性
材料去除稳定性24小时内优于2%,加工确定性好。
高效率
单位面积的材料去除率与小磨头抛光相当,加工效率高。
自由曲面加工
真6轴5联动,适用于一般高次非球面和自由曲面加工。
产品优势
1,高精度高动态运动系统天然花岗石龙门床身,超精密级导轨,直线电机驱动,纳米分辨率光栅反馈,实现微米级运动直线度和重复定位精度,同时实现大于0.5g的加速度。
欧美顶级数控系统,真6轴5联动控制,最高支持0.1nm坐标插补。
2、专利设计的抛光头和循环系统模块化设计理念,核心零件采用特殊防污和抗磨损材料制造,易拆装,易维护,循环系统拆洗时间缩短50%以上,核心零件使用寿命提升100%以上。
3,高精度流量控制稳定性
专利稳流控制技术,实现了长时间高精度流量控制稳定性,从而确保在较长的加工过程中维持稳定的材料去除性
4,集成自动对刀系统
采用视觉摄像头+精密触发探针结合的对刀模式,直接得到光学元件Z向坐标,误差相探位(与干涉测量结果匹配)口径缩放等多元信息,实现多功能自动对刀。
(20小时内流量稳定性为1.21%,试验参数为:流量120L/h抛光轮转速200rpm)
5,强大的工艺软件
支持多版本windows系统,支持高次非球面,离轴非球面,自由曲面等轮廊的加工支持曲面关键点校验,支持去除斑点数据库扩展,工艺软件将持续升级维护。
6,安全友好的操作模式
定制设计的操作面板和简易手轮,配合高清触摸屏和键鼠操作,国际标准化的数控代码编程,安全便捷易上手。
产品参数
项目 | MRP150 | MRP300 | MRP600 | MRP1000 |
床身材料* | 天然花岗岩 | |||
运动轴数 | X/Y/Z/A/B/C | |||
直线轴行程 | 250×250×150mm | 400×400×200mm | 1000×700×250mm | 1100×1100×300mm |
回转轴行程 | ±45°×±45°×360° | -180°~45°×±45°×360° | ±50°×±40°×360° | ±50°×±40°×360° |
驱动形式 | 直线电机+光栅尺 | |||
运动直线度* | X/Y/Z:5μm(每500mm长度) | |||
重复定位精度* | X/Y/Z:±1μm A/B/C:±20" | |||
最大运动速度 | X/Y/Z:3000mm/min | |||
A/B:20rpm | ||||
C 450rpm | C 450rpm | C 50rpm | C 25rpm | |
抛光轮尺寸 | 20mm/70mm/100mm/140mm/200mm/340mm | |||
抛光轮最大转速 | 750rpm/600rpm/450rpm/300rpm/200rpm | |||
抛光轮最大跳动 | 3μm/5μm/8μm/10μm/20μm | |||
流量循环稳定性* | 2% (4h) | |||
粘度循环稳定性* | 0.3% (4h) | |||
去除函数稳定性* | 5% (4h) | |||
加工精度* | 1/200λ RMS | |||
表面粗糙度* | 0.5nm RMS |