解决方案2:超低表面粗糙度光学元件解决方案
日期:2023-12-29 17:27:43
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在短波长光学系统、激光陀螺、激光武器等系统中,需要低于0.3nm甚至0.1nm RMS表面粗糙度的超光滑表面。
■加工目标
表面粗糙度低于0.3nm RMS
■适用材料
熔石英、微晶、单晶硅、碳化硅等
■技术难点
√弹塑性超光滑
■应用领域
短波长光学系统、高能量激光器件等