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解决方案2:超低表面粗糙度光学元件解决方案

日期:2023-12-29 17:27:43 访问:1254次 来源:本站

在短波长光学系统、激光陀螺、激光武器等系统中,需要低于0.3nm甚至0.1nm RMS表面粗糙度的超光滑表面。


■加工目标

表面粗糙度低于0.3nm RMS                                                           



■适用材料

熔石英、微晶、单晶硅、碳化硅等



■技术难点

√弹塑性超光滑                                                                                                        



■应用领域

短波长光学系统、高能量激光器件等


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