解决方案1:超高精度光学元件解决方案
日期:2023-12-29 16:36:12
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在光刻机曝光镜头、天文望远镜等系统中,为了实现高分辨率,需要形状精度优于1/200 RMS的超高精度光学镜片。
■加工目标
形状精度优于1/200 RMS
■适用材料
熔石英、微晶、蓝宝石、氟化钙、硅、碳化硅等
■技术难点
√中频误差抑制
■应用领域
光刻物镜、标准器具、天文望远镜等